| ID | 工程 | 品名 | 社名 | 型式 | 寸法 |
| W111003009 | 成膜 | スパッター | アネルバ | ILC1060 | 6 |
| W111003010 | 成膜 | スパッター | アプライドマテリアルズ | Endura | 8 |
| W111003028 | フォトリソ | ステッパー | ニコン | i12 | |
| W111003029 | 成膜 | 蒸着機 | アルバック | EBX2000 | |
| W111003030 | 検査 | 測長SEM装置 | 日立 | S6200H | |
| W111006001 | 注入 | バリアン | Vision200 | ||
| W111006002 | 注入 | バリアン | Vision80 | ||
| W111011005 | フォトリソ | スキャナー | ニコン | S206D | |
| W111011006 | フォトリソ | コーターデベロッパー | 東京エレクトロン | ACT8-2 | |
| W111011007 | 注入 | ミドルカレント注入機 | 住友イートンノバ | MC3-MarkⅡ | |
| W111011008 | 注入 | ミドルカレント注入機 | 日新電機 | EXCEED3000 | |
| W111011011 | 注入 | ハイカレント注入機 | アプライドマテリアルズ | Quantum Leap | |
| W111011014 | エッチャー | エッチャー | 東京エレクトロン | Unity SCCM | |
| W111011016 | 成膜 | スパッター | アネルバ | 1060 | |
| W111012002 | 検査 | 欠陥検査装置 | ルドルフ | NSX115 | 8 |
| W111024002 | 成膜 | 常圧CVD | WATKINS_JOHNSON | WJ-999R | 6 |
| W111024006 | 洗浄 | スクラバー | 大日本スクリーン | SS3100 | 12 |
| W111024007 | 拡散 | LPCVD装置 | アプライドマテリアルズ | FORMULA | 12 |
| W111024008 | 注入 | 高エネルギー注入機 | 住友イートンノバ | NV-GSD-HE3 | 12 |
| W111024009 | エッチャー | メタルエッチャー | アプライドマテリアルズ | Centura DPSII | 12 |
| W111024010 | 拡散 | 拡散炉 | 国際電気 | DD1206V | 12 |
| W111024013 | エッチャー | アッシャー | 国際電気 | λ300 | 12 |
| W111026002 | 成膜 | 天谷 | AMAX800 | ||
| W111028001 | 検査 | 異物検査装置 | 日立 | IS2510 | |
| W111102001 | 注入 | 高エネルギー注入機 | 4 | ||
| W111107001 | 検査 | 膜厚測定装置 | |||
| W111115002 | 拡散 | 拡散炉 | 東京エレクトロン | Alpha 8S | |
| W111115003 | 成膜 | 高密度プラズマCVD装置 | アプライドマテリアルズ | Ultima TE | |
| W120201001 | 注入 | ミドルカレント注入機 | 日新電機 | EXCEED2000AH | |
| W120201002 | 注入 | ハイカレント注入機 | AXCELIS | NV-GSDⅢ‐180 | |
| W120201003 | 検査 | イオン注入量測定装置 | THERMAWAVE | TP-600 | |
