| ID | 工程 | 品名 | 社名 | 型式 | 寸法 |
| W080919018 | フォトリソ | ステッパー | キャノン | i5+ | |
| W080926001 | 拡散 | ウェハソーター | AST | AG 2800 RTP | |
| W090115001 | フォトリソ | コーターデベロッパー | 東京エレクトロン | MARK-8 | 6 |
| W090213020 | フォトリソ | UVキュア | ウシオ | 6 | |
| W090213046 | フォトリソ | スキャナー | ニコン | SF120 | 8 |
| W090213028 | 注入 | ミドルカレント注入機 | 日新電機 | NH-20SR | 6 |
| W090213019 | 検査 | 抵抗測定装置 | ケーエルエー・テンコール | VR-70 | |
