PLAは簡単に一言で説明するならば日光写真と思ってください。マスクとウェハー（ウェハーサイズΦ６からΦ2mm）を密着させマスク上面より平行光を照射し、パターンニングﾞする露光装置です。この装置のメリットは非常にコンパクトで多彩な機能を満載しているのが特徴的。例えば露光方式で言うと、1.ハードコンタクトモード、2.ソフトコンタクトモード、3.プロキシミティーモードの3種類のモードが選択可能です。
1.ハードコンタクトモード
マスクとウェハーの間を真空にし強力に密着させて露光する方法で、モードの中でも一番高解像力が得られるモードです。（強力な密着な為、マスクに与えるダメージも大きい）
2.ソフトコンタクトモード
ハードコンタクトモードの真空部にプラスN２を混入させ、このN２の流量を手動で変化させて真空度を設定できるモードです。ハードコンタクトと比較すると解像力的には低下するがマスクに与えるダメージがハードコンタクトの約１/１０に低減できると言われています。
3.プロキシミティーモード
マスクとウェハーを密着させるのではなく、ある程度間隔を空けて露光するモードです。
マスクとウェハーの間隔幅は操作パネルのスイッチ設定で自由に変更設定可能でき、
マスクのダメージを最大限に低減する事ができます。



その他、改造を施す事により異型のウェハー例えば半円、四角、厚さ５ｍｍのウェハーまで臨機応変に対応でき、研究機関、試作ラインでの使用に最もマッチした装置と言えます。その他、自動搬送/オートアライメント機能も搭載されているので量産ラインにおいても十分使用できる露光装置です。私共は、その他、ウェハーの裏面露光改造、テレビオートアライメントなどの改造も行っています。
PLAには２種類ある？
ＰＬＡに大きく分類すると２種類あります。１つはＰＬＡ６００そしてもうひとつはＰＬＡ５０１。実際にはにはもっと種類があるのですが基本的にはこの２つになります。ＰＬＡの名前で装置の種類を判別してください。

上記のUV光源、ＤＥＥＰ　ＵＶ光源とは、ＵＶ光源光の波長が約３６５ｎｍ〜４３６ｎｍの事を言い、Ｄｅｅｐ　ＵＶ光源とは２００ｎｍ〜２７０ｎｍの波長を言います。通常PLAはUV光源を使用していますが、Ｄｅｅｐ　ＵＶ用の光源を搭載したＰＬＡも数多く存在しています。ご存知の通り波長が短ければ解像力が上がる事になりますが、適切なレジストの種類、管理方法を守らなければ高解像度は中々得られません。

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