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MPA500FA |
現在はほとんど使われていない装置で、この装置から色々な機能が追加されていく。
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MPA500FAb |
MPA500FAの後続機種。主に、本体内部とウェハーチャックの温調、搬送ハンドの表面持ちから裏面持ちへの変更。DR（直行度）のエアー調整機能が追加されています。一部FAｂはオートアライメント機能が向上したものなどもあります。ちなみにＭＰＡ５００ＦＡｂ/５００ＦＡ共にウェハーサイズの最大はΦ５インチまでになります。また、この装置で追加された機能は６００シリーズには標準仕様となっています。
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| 3. |
MPA600FA |
ＭＰＡ５００ＦＡｂの後続機種。最大ウェハーサイズΦ6インチでオートアライメント機能の２方式の選択可能、照明系の変更により、照度の安定性と解像力の向上。裏面持ち搬送ハンドの変更などが上げられます。 |
| 4. |
MPA600
super |
ＭＰＡ６００ＦＡの機能にテレビオートアライメント機能を追加し、LAB（マスクとウェハーをスキャンさせる部分）を通常のギアBOXとACサーボモーターの駆動からリニアモーター駆動へ変更、PDC機能を自動化した。このMPAが半導体用では最終バージョンである。（液晶用も同原理でMPAと言う名前のものが存在する）
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